（3）再通過(guò)儀表或顯示器檢查管路和閥門(mén)是否正確連接并處于開(kāi)啟狀態(tài)。

 

　　CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器操作：

 

　?。?）在運(yùn)行CVD前，需要正確操作以確保正常供應(yīng)氫氣。

 

　?。?）首先，打開(kāi)氣瓶閥門(mén)，為其提供氣源，通常會(huì)聽(tīng)到氣體流動(dòng)聲音。

 

　?。?）接下來(lái)，按下電源開(kāi)關(guān)，開(kāi)始進(jìn)行加熱，直到發(fā)生器中的電阻絲升至所需溫度，這通常需要花費(fèi)幾分鐘的時(shí)間。

 

　　（4）然后，設(shè)定合適的工作壓力和氫氣流量，通常這些值都可以在CVD系統(tǒng)手冊(cè)或設(shè)備樣品介紹里找到。

 

　?。?）再檢測(cè)輸出的氫氣質(zhì)量，并觀察儀表或顯示屏上讀數(shù)是否穩(wěn)定。在出現(xiàn)故障前提醒間隔時(shí)間內(nèi)，及時(shí)更換氫氣瓶，并維護(hù)好設(shè)備。

 

　　CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器使用時(shí)需注意以下安全事項(xiàng)：

　?。?）操作和使用該設(shè)備的人員必須具備應(yīng)有的專業(yè)知識(shí)，遵循相關(guān)操作規(guī)程。一旦發(fā)生意外，請(qǐng)及時(shí)停止氫氣發(fā)生反應(yīng)、關(guān)閉氫氣瓶閥門(mén)并遠(yuǎn)離裝置。

 

　　（2）在操作期間，需要將氫氣發(fā)生器安置于通風(fēng)的場(chǎng)所，并確保室內(nèi)沒(méi)有明火或其他可能導(dǎo)致火災(zāi)的危險(xiǎn)元素。

 

　?。?）長(zhǎng)期不使用該設(shè)備時(shí)，應(yīng)關(guān)閉氫氣瓶閥門(mén)，切斷氣源，并進(jìn)行適當(dāng)保養(yǎng)。

 

　　通過(guò)本文，我們?cè)敿?xì)掌握了進(jìn)口CVD氫氣發(fā)生器的使用方法和安全注意事項(xiàng)。只有正確、安全合理的操作才能保證我們得到質(zhì)量穩(wěn)定，性能好的化學(xué)氣相沉積片材產(chǎn)品。